廣州潽拓光電科技有限公司——愛德華磁懸浮渦輪泵設(shè)備保養(yǎng)
Edwards在真空和減排方面的仍穩(wěn)居全*地位。產(chǎn)品包括運(yùn)行速度高達(dá)60,000 RPM (每秒鐘竟然達(dá)到1,000轉(zhuǎn))的磁懸浮渦輪分子泵;磁懸浮分子泵具有無油,低振動,免維護(hù)及高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。
Edwards真空泵是上暢*的真空泵之一， 用于半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽能電池制造， 及工業(yè)、制藥、化工、加工、玻璃鍍膜、食品包裝等行業(yè)。
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Edwards STPA1603C英國愛德華磁懸浮分子泵維修
小巧而強(qiáng)大的Edwards STPA1603C渦輪分子泵采用Edwards先進(jìn)的轉(zhuǎn)子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)。它提供極高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能，滿足zui新一代半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計(jì)可節(jié)省可觀的空間，而其先進(jìn)的沉積減少系統(tǒng)提高了可靠性和性能。STPA1603C已經(jīng)在zui新的200mm刻蝕工具上得到了證明，也能夠滿足新一代300mm氧化物腐蝕制程的需要。
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渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動快，耐各種射線的照射，耐大氣沖擊，無儲氣和解吸作用，無油蒸氣污染或污染*少，可獲得潔凈的超高真空
nEXT300D 是一種是混合軸承復(fù)合分子泵。它隨附 ISO100 或 CF100 入口法蘭，具備 300ls-1 的 N2 抽速。
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